· 德國(guó)Xiton Photonics專注于窄線寬固體脈沖激光器及其頻率變換，其深紫外激光器尤為特色。
· 基于1064nm/1342nm的全固態(tài)DPSS調(diào)Q激光器可通過(guò)頻率變換提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光輸出及355nm、447nm、532nm、671nm等常規(guī)波長(zhǎng)輸出。
· 多數(shù)Xiton激光器具備TEM00模式輸出，保證 的聚焦性能，適合直寫(xiě)等應(yīng)用；單縱?；蛘€寬性能是Xiton激光器的另一特征，長(zhǎng)長(zhǎng)度確?？捎糜趥鹘y(tǒng)上采用氣體激光器的計(jì)量、全息、光刻等應(yīng)用。
· 相比傳統(tǒng)深紫外波段的氣體激光器，固態(tài)激光器體積小、壽命更長(zhǎng)，維護(hù)成本更低。
一、IXION 193 深紫外激光器IXION 193 SLM
IXION 193 SLM是一種單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，適用于光學(xué)計(jì)量、193 nm步進(jìn)光學(xué)元件的校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制等應(yīng)用。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。
該系統(tǒng)的中心波長(zhǎng)可在185至194nm的范圍內(nèi)定制，并可在訂購(gòu)時(shí)配置為固定波長(zhǎng)。
作為附加選項(xiàng)，可以將絕對(duì)光譜精度為0.001nm的高精度光譜儀集成到系統(tǒng)中。這使得激光光譜調(diào)諧的控制具有最高的精度。
